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KLARF文件格式 说明.docx
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上传者:
zjiqmk
|
上传时间: 2021-07-21 17:21:22
|
文件大小: 25KB
|
文件类型: DOCX
半导体
KLARF文件格式 说明,适用于半导体行业,在很多工艺流程中通用的保存结果的文本格式。可用于读取Klarf文件,解析结果中的WaferID, LotID,坐标信息等内容
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