Computational lithography

计算光刻

计算光刻方面最权威的电子书，2010年版 ' Computational Lithography ' by Xu Ma, Gonzalo R. Arce

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评论信息

hcyliulll :

在计算光刻方面是一本很不错的书籍，值得研究！
2015-02-11
yangqiang870307 :

比较好的一本书，不过需要时间研究。
2014-07-10
zhlfk :

A good book that I have searched for a long time. It must be very helpful.
2012-08-27

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