Fundamental Principles of Optical Lithography The Science of Microfabrication

Optical Lithography

半导体工艺，有关光刻很好的书，也是当前最新的书 ISBN-10: 0470727306 可以在www.amazon.com上找到此书详细信息

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评论信息

nmliuhai :

这本书还是不错的！
2021-04-09
u010705718 :

不错，值得下载一看。英文版阅读的费一番功夫。
2015-09-26
thuptenshesrab :

这本书非常好，工艺讲的很详细
2015-04-07
llqq4757 :

确实不错，找了好长时间了，谢谢
2013-05-16
菩提芽 :

非常好，不缺页，很清楚
2012-07-31

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