光刻匀胶显影设备结构及工艺原理详解
匀胶工艺流程
匀胶设备立体图
匀胶单元的结构
匀胶单元运行设置
热板及冷板单元的结构
冷热板运行设置
AD单元的结构
AD单元运行设置
显影单元的结构
匀胶膜厚的控制
影响光刻胶厚度和均匀性的主要参数
显影单元的结构
显影喷头的类型
显影程序的设置
影响显影尺寸及均匀性的主要参数
排风气流对显影均匀性的影响
显影液流量对显影尺寸的影响
显影前烘烤温度对显影尺寸的影响
显影后烘烤温度对显影尺寸的影响
数据库系统
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