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湿法刻蚀工艺和干法刻蚀工艺的比较?-光刻与刻蚀工艺
湿法刻蚀工艺和干法刻蚀工艺的比较?-光刻与刻蚀工艺
上传者:
42203796
|
上传时间: 2022-08-16 19:29:05
|
文件大小: 10.1MB
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文件类型: PPT
电子
湿法刻蚀工艺和干法刻蚀工艺的比较? 干法刻蚀优缺点: 分辨率高 各向异性腐蚀能力强 均匀性、重复性好 便于连续自动操作 成本高,选择比一般较低 湿法刻蚀的优缺点: 成本低廉 选择比高 各向同性 腐蚀速率难以控制
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