湿法刻蚀工艺和干法刻蚀工艺的比较？-光刻与刻蚀工艺

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湿法刻蚀工艺和干法刻蚀工艺的比较？干法刻蚀优缺点：分辨率高各向异性腐蚀能力强均匀性、重复性好便于连续自动操作成本高，选择比一般较低湿法刻蚀的优缺点：成本低廉选择比高各向同性腐蚀速率难以控制

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