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上传时间: 2022-01-18 10:50:48
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文件大小: 3.35MB
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文件类型: -
(2)复杂的几何刻蚀例子:
下面的例子刻蚀掉了以(0.8,0)(0.8,-0.15)(1.2,-0.15)(1.2,0)为坐标顶点的矩形氧化物区域.
ETCH OXIDE START X=0.8 Y=0.0
ETCH CONTINUE X=0.8 Y=-0.15
ETCH CONTINUE X=1.2 Y=-0.15
ETCH DONE X=1.2 Y=0.0
刻蚀前
刻蚀后