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上传时间: 2021-12-07 11:36:30
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用于Octave和MATLAB的薄膜多层工具箱
乌尔夫·格里斯曼(Ulf Griesmann),2013,2014,2015 ,
该软件大多数在公共领域。 某些部分(例如,用于差异演化最小化的“ devec3”功能)是在GNU公共许可证下分发的。
可以从以下下载新版本,其他文档和示例脚本: :
动机
在许多应用中使用由不同材料的多个薄层组成的功能性表面来更改表面性能。 多层在光学中非常重要,在多层中,多层可用于修改表面对光的响应。 减反射涂层就是一个例子,它可以减弱玻璃与空气之间的反射。 在光学中,多层涂层的光谱响应通常是最令人感兴趣的。 多层重要的另一个领域是光刻。 在光刻中,基板上涂有一层抗蚀剂材料。 光刻曝光的质量在很大程度上取决于抗蚀剂叠层的光学性质及其精心的优化。 薄膜叠层特性的光谱依赖性在光刻中不太重要,因为波长几乎是单色的。 层厚度的优化通常更为重要。
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