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论文研究-55纳米低功耗平台阱注入工艺的光罩缩减方案 .pdf
论文研究-55纳米低功耗平台阱注入工艺的光罩缩减方案 .pdf
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39841856
|
上传时间: 2021-07-07 22:05:34
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文件大小: 1.35MB
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文件类型: PDF
阱离子注入
55纳米低功耗平台阱注入工艺的光罩缩减方案,刘晗,,集成电路产业的蓬勃发展带来各家公司之间的良性竞争,芯片生产成本的降低成为各家公司争先研究的方向。本文提出了一种降低55纳米�
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