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论文研究-MEMS气体传感器微热盘建模与仿真 .pdf
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上传者:
39841856
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上传时间: 2023-01-04 10:56:37
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文件大小: 308KB
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文件类型: PDF
微电子与固体电子学
MEMS气体传感器微热盘建模与仿真,张卫东,丁恩杰,本文设计了两种以Pt为加热电极,SiO2为绝缘层的MEMS气体传感器的微盘模型。通过有限元仿真分析了两种微热盘的稳态特性,加热温度达��
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