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优化刻蚀以改善垂直型氮化镓功率电子器件的选区掺杂-综合文档
优化刻蚀以改善垂直型氮化镓功率电子器件的选区掺杂-综合文档
上传者:
38746387
|
上传时间: 2022-05-21 19:16:53
|
文件大小: 1.46MB
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文件类型: ZIP
优化
刻蚀
改善
垂直型
优化刻蚀以改善垂直型氮化镓功率电子器件的选区掺杂
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