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[{"title":"（ 1 个子文件 1.46MB ） 优化刻蚀以改善垂直型氮化镓功率电子器件的选区掺杂-综合文档","children":[{"title":"优化刻蚀以改善垂直型氮化镓功率电子器件的选区掺杂.pdf <span style='color:#111;'> 1.49MB </span>","children":null,"spread":false}],"spread":true}]
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