罗克韦尔自动化半导体与电子行业FMCS系统解决方案zip,以下为罗克韦尔自动化半导体与电子行业FMCS系统解决方案,请下载查看!FM C S (Fa c i l i t i e s M a n a g e m e nt Co nt r o l Sy s te m),具有各层次的监视与控制功能,是工业级的控制系统,监视并控 制着服务于FA B生产的各子系统。子系统包含但不局限以下系统:洁净室、空调、机电设施、超纯水、污水处理、化 学品供应、气体供应、真空系统、压力系统、电力与生命安全系统等。作为专业的自动化供应商罗克韦尔可为用户 带来产品与工程上的最优化解决方案。