ASML lithography: 目前世界上最先进的光刻机

上传者: 38723810 | 上传时间: 2022-05-11 21:08:19 | 文件大小: 19KB | 文件类型: PDF
TWINSCAN:trade_mark: XT:1700iThe XT:1700i with HydroLith immersion technology delivers the world’s first 1.2 hyper NA for high-volume manufacturing at the 45-nm node. This innovative lithography system leverages TWINSCAN dual stages and an advanced, in-line catadioptric lens to deliver unrivalled resolution, d

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