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一种基于CCD的实时测量光栅常数的方法 (2005年)
一种基于CCD的实时测量光栅常数的方法 (2005年)
上传者:
38716590
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上传时间: 2022-06-01 21:43:57
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文件大小: 232KB
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文件类型: PDF
工程技术
论文
光栅常数是检验光栅质量的重要参数之一。该文介绍了一种实时检测光栅参数的方法,即利用面阵CCD采集光栅衍射图像信息,通过计算衍射士1级光斑与主极大光斑的能量比得出光栅常数。这种方法具有检测速度快、系统简单、精度高等特点,可用于生产线上光栅的实时检测。
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