一种基于CCD的实时测量光栅常数的方法 (2005年)

上传者: 38716590 | 上传时间: 2022-06-01 21:43:57 | 文件大小: 232KB | 文件类型: PDF
光栅常数是检验光栅质量的重要参数之一。该文介绍了一种实时检测光栅参数的方法,即利用面阵CCD采集光栅衍射图像信息,通过计算衍射士1级光斑与主极大光斑的能量比得出光栅常数。这种方法具有检测速度快、系统简单、精度高等特点,可用于生产线上光栅的实时检测。

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