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用劳埃德镜干涉原理进行圆度误差测量
用劳埃德镜干涉原理进行圆度误差测量
上传者:
38716081
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上传时间: 2022-09-22 20:36:32
|
文件大小: 726KB
|
文件类型: PDF
光学技术
圆度误差
激光干涉
劳埃德镜
提出一种应用线阵CCD自动测量圆度误差的新方法。论述了系统利用劳埃德镜干涉装置,通过线阵CCD图像处理系统自动测量圆度误差的工作原理及过程设计。测量结果表明,新的测量方法实现了圆度误差的实时精确在线测量。该测量系统具有一定的实用价值及较广阔的应用前景。
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