PPML - 周期性图案化多层:基于 RCWA(严格耦合波分析)的图案化多层的电磁特性-matlab开发

上传者: 38690275 | 上传时间: 2021-11-23 16:46:05 | 文件大小: 7.04MB | 文件类型: -
基于散射矩阵 (SM) 算法的严格耦合波分析 (RCWA) 是用于图案化多层结构电磁仿真的最强大工具之一。 PPML-RCWA是一个基于[ad]形式主义实现SM-RCWA的项目。 提供三组功能:一组用于TM偏振下的一维图案,另一组用于一维各向异性(双轴)图案,第三组用于某些二维图案。 对于一维 TM 模式,目前可用的函数是计算 i) 强度反射率、透射率和逐层吸收率 ii) 完整的 2x2 散射矩阵 iii) 结构内的 E 和 S 字段 适当的分解规则 [c,d] 使代码具有极高的性能,并且完全适用于金属部件(等离子体光栅)的模拟。 可以处理平面外单轴材料。 对于一维双轴介质,可以使用以下功能: i) 透射衍射波的幅度、相位和偏振 对于二维模式,目前可用的函数是计算 i) 零衍射级散射矩阵(即 4x4 矩阵,其子矩阵是透射和反射琼斯矩阵。) 允许的晶胞几何形状

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