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基于TFCALC软件的薄膜偏光分束镜的设计 (2005年)
基于TFCALC软件的薄膜偏光分束镜的设计 (2005年)
上传者:
38686187
|
上传时间: 2022-05-12 00:28:10
|
文件大小: 310KB
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文件类型: PDF
工程技术
论文
根据Macnielle薄膜偏光分束镜的设计原理,利用膜系设计软件对偏光分束镜进行优化设计。总结了偏光镜设计时参考波长、人射角以及膜层数随波长的变化规律,给出了LaKZ基底,Zro:和5102为高低膜料的薄膜偏光分束镜优化设计方案,为薄膜偏光分束镜的设计和镀膜工艺提供了参考依据。
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