一种可用于离面位移测量的光路的优化设计

光学测量激光多普离面位移

为了实现对复杂三维物体表面轮廓、小空间内物体的纵向位移或振动等测量,有必要研制高分辨力、非接触的光学检测系统。由于激光多普勒技术具有动态响应快、线性度好、非接触、测量精度高等特点而优先被用于复杂三维物体离面位移的测量。但是物体表面散射光的多普勒信号非常微弱,因此解决信号的强度、信噪比则是实现测量的关键。研究了激光多普勒技术及散射光相位的无规变化的统计规律,设计出一种空间分辨力很高的参考光路,将它用于固体离面位移测量效果很好,其相对误差为0.3%。

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