Nd3 +掺杂磷酸盐玻璃中碳/氧注入波导的制备与表征
Nd-3-H掺杂磷酸盐玻璃中的光学平面波导是通过以6.0 x 1014离子/ cm2的剂量注入6.0-MeV碳离子和以6.0x 1014离子/ cm的注入量注入6.0-MeV氧离子制造的（ 2）。 引导模和相应的有效折射率是通过模态2010棱镜耦合器测量的。 基于物质中离子的终止和范围以及RCM反射率计算方法，分析了波导的折射率分布。 分别通过端面耦合法和有限差分光束传播法测量并模拟了近场光强度分布。 进行了碳注入波导和氧注入波导的光学特性的比较。 微发光和拉曼光谱研究表明，Nd 3-离子的荧光性质和玻璃微结构在波导区域中得到了很好的保留，这表明碳/氧注入波导是集成光子器件的良好候选者。 （C）2015年光电仪器工程师协会（SPIE）
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