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上传时间: 2021-11-11 10:03:50
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高斯扩散模型matlab代码uFab-形式元素扩散
背景技术请阅读James
D.
Plummer等人的《硅VLSI技术:基础知识,实践和建模》第7章。
请特别注意第7.5.1节。
Nicholas
J.
Giordano和Hisao
Nakanishi在《计算物理学》第二版中讨论了扩散方程的数值解。
这两本书在凯文街图书馆都有。
您还应该阅读我有关扩散的注释和有关Plummer中扩散的章节。
热扩散是掺杂物扩散的一个很好的类比,方程很相似。
以下是一些参考,以及一些可能有用的代码片段。
任务您的工作是使用MATLAB或您选择的另一种语言编写程序,以构建扩散的数学模型并探索其实用性。
编写MATLAB程序,使用有限差分对扩散方程进行数值求解。
首先,通过使DΔt/(Δx^
2)=
1/2简化模型。
这使我们可以将硼驱入扩散的情况下的扩散方程从等式(7.38)简化为等式(7.40)。
将初始轮廓建模为增量函数,即高浓度预沉积。
使用2
x
1019
cm-3的表面浓度。
如下所示……还有一些简单的MATLAB可以生成此初始向量。
您将需要仔细考虑如何处理第一个点,因为它的左边没有点。
您