单电容式及差分电容式MEMS传感器检测系统

电容式传感器工作原理
　　电容式传感器分单电容式和差分电容式二种。如图1所示。

　　
　　图1 单电容式和差分电容式传感器
　　(a) 单电容传感器
　　(b) 差分电容传感器
　　图1(a)为两平行板组成的电容器，图1(b)为两平行板中间插入极板组成的差分电容传感。对图1(a)而言，当忽略电容器的边界效应时：
　　电容器的电容量为：　

　　
　　式中A为电容器的极板面积，d为极板的距离，er、e0为介电常数。
　　电容传感器中的变间隙式电容传感器的C-d特性如图2所示。

　　
　　图2 变间隙式电容传感器的C-d特性曲线图
　　单电容传感器的一个极板固

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