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光刻原理和技术.ppt-综合文档
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38614484
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上传时间: 2022-03-21 02:51:01
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文件大小: 3.38MB
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文件类型: -
光刻
原理
技术
ppt
光刻原理和技术.ppt光刻原理和技术.ppt8.2光刻工艺流程 8.3光刻光学 8.5先进的曝光技术 光刻是IC制造业中最为重要的一道工艺•每三年尺寸减小 0.7X. •硅片制造工艺...
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