相位掩模空间载波干涉图的傅里叶分析

测量条纹分析相位掩模空间载波

相位掩模空间载波干涉图的处理精度直接影响着动态干涉仪的性能。根据相位掩模的特点，提出了一种基于傅里叶分析的相位掩模空间载波干涉图的处理方法。该方法将采集得到的全分辨率干涉图进行像素空间重组得到一幅线性空间载波干涉图，然后采用傅里叶变换提取相位，最后再通过像素空间重组得到全分辨率的相位信息。实验结果表明，四步相移算法相位误差的峰谷值和均方根值分别为0.7467λ和0.0348λ，而傅里叶分析法相位误差的峰谷值和均方根值分别为0.2989λ和0.0088λ，因此傅里叶分析法的精度高于四步相移算法。

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