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碳化硅氮离子注入模拟研究
碳化硅氮离子注入模拟研究
上传者:
38592405
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上传时间: 2021-11-08 20:38:43
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文件大小: 365KB
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文件类型: -
首发论文
碳化硅氮离子注入模拟研究,李卓,夏晓川,利用SRIM软件模拟了在不同注入角度、注入能量和注入剂量的条件下,N离子在SiC材料中的分布。根据对模拟结果分析发现,随着注入角度�
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