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子孔径拼接干涉检测及其精度分析
子孔径拼接干涉检测及其精度分析
上传者:
38589168
|
上传时间: 2021-04-19 17:20:58
|
文件大小: 688KB
|
文件类型: PDF
物理光学
子孔径拼
检测
介绍了利用小口径干涉仪检测大口径光学元件的方法,从统计的角度出发,详细地推导了子孔径拼接干涉检测技术中拼接参量的具体求解过程,以及使用统计回归方法分析了拼接检测系统精度。并通过实验对该理论进行了实际分析运算。
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