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双相调节和超宽带可调谐微机电系统谐振器的分析
双相调节和超宽带可调谐微机电系统谐振器的分析
上传者:
38563552
|
上传时间: 2021-03-02 17:05:04
|
文件大小: 1.45MB
|
文件类型: PDF
Surface
acoustic
waves
Frequency-domain
针对单负载,垂直变形引起的传统MEMS(微机电系统)谐振器窄带和谐振频率固定的问题,提出了一种新型的具有超宽带,可调谐频率和基于垂直方向两级调节特性的MEMS谐振器。和水平负载。 建立了水平和垂直负载双级调节谐振器的微分方程,推导了两端锚定的谐振器的频率方程。 提出的谐振器的中心频率为17.7 MHz,两级范围分别为395480 ppm和16 ppm。
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