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用准光波导方法测量聚合物薄膜光学参数
用准光波导方法测量聚合物薄膜光学参数
上传者:
38530536
|
上传时间: 2021-02-09 18:06:00
|
文件大小: 2.82MB
|
文件类型: PDF
集成光学
准光波导
integrate
quasi-wav
本文报道用准光波导方法测量了沉积在棱镜底面上的聚苯乙烯和聚醚砜薄膜,确定了这两种聚合物薄膜的折射率和薄膜厚度.并用偏振光测定了其双折射.薄膜折射率测量误差为±1×10~(-3),薄膜厚度测量误差为±0.01μm.
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