基于ZnO单晶声表面波压力传感器的特性研究
基于声表面波（SAW）理论以及SAW谐振器的结构和工作原理，设计了一种基于声表面波（SAW）谐振式压力传感器。采用有限元软件COMSOL Multiphysics对ZnO单晶声表面波谐振器进行建模和仿真，提出符合声表面波振型的对称模态和反对称模态，计算出ZnO单晶的相速度为3 237.31 m/s。讨论了ZnO基底厚度对此压力传感器的相速度的影响，得出ZnO基底厚度越大，相速度越小。最后通过加载0~1 000 kg/m2的质量块来模拟不同的压力对器件的频率响应的影响，结果显示压力的变化与谐振频率二者具有良好的负相关线性关系。通过拟合得出线性表达式。
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