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绒面ZnO透明导电薄膜
绒面ZnO透明导电薄膜
上传者:
38506713
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上传时间: 2024-02-26 12:50:30
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文件类型: PDF
首发论文
绒面ZnO透明导电薄膜,朱锋,薛玉明,采用孪生ZnO (Al2O3:2%)对靶直流磁控溅射制备高透过率、高电导率的平面ZnO薄膜(迁移率为5.56 cm2/V•s,载流子浓度为4.57×1020cm-3,电阻�
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