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用于液晶显示器件的旋转倾斜蒸镀SiO法 (1978年)
用于液晶显示器件的旋转倾斜蒸镀SiO法 (1978年)
上传者:
38500117
|
上传时间: 2022-09-07 15:17:58
|
文件大小: 364KB
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文件类型: PDF
自然科学
论文
旋转倾斜真空蒸发SiO的方法能同时蒸镀多个基片,并且可在蒸发源和基片距离较短时蒸发。拍摄了SiO薄层的电子显微镜照片。用上述方法制作了三种液晶显示器件。
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