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【CMP】CMP Tutorial.ppt
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上传者:
rainlym
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上传时间: 2021-11-04 15:02:24
|
文件大小: 2.15MB
|
文件类型: PPT
半导体工艺
CMP
化学机械抛光
英特尔公司的化学机械抛光培训材料(Chemical Mechanical Polishing (CMP)),CMP是先进半导体工艺必不可少的工艺,该材料系统完整的介绍了该工艺机台,配件,原料,工艺问题以及对环境的影响等各个方面的内容,很适合将要从事半导体制造行业的毕业生或者相关工程师学习和参考。
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