COMSOL MPCVD装置中H2低气压放电等离子体仿真的关键技术与应用

内容概要：本文详细介绍了利用COMSOL进行微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置中氢气(H2)低气压放电仿真的方法和技术要点。主要内容涵盖电磁场、流体力学和化学反应的耦合建模，以及针对不同应用场景的具体实现步骤。文中强调了仿真过程中常见的挑战及其解决方案，如准静态近似、碰撞截面数据的选择、表面反应动力学建模、求解器配置优化等。此外，还分享了一些实用技巧，如调整谐振腔尺寸优化电子密度分布、处理刻蚀速率预测中的离子能量分布函数等问题。 适合人群：从事等离子体物理研究、材料科学、半导体制造等领域，对MPCVD装置仿真感兴趣的科研人员和工程师。 使用场景及目标：①掌握MPCVD装置中H2低气压放电仿真的完整流程；②解决仿真过程中可能出现的技术难题；③提高仿真精度和效率，为实际实验提供理论支持。 其他说明：文章提供了丰富的代码片段和实践经验，帮助读者更好地理解和应用相关技术。同时提醒读者注意仿真中的常见陷阱，如不合理参数设置可能导致的计算发散等问题。