tsmc18rf_pdk_v13d.tar
本人使用vmware虚拟机 ic5141软件安装，亲测有效。
安装说明：
1.将文件传送至RedHat系统中，并使用tar -zxvf tsmc18rf_****解压文件
2.在terminal中使用 perl pdkinstall.pl及可以自动安装，根据提示选择安装路径。
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