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背金工艺:背面淀积金属的工艺
背金工艺:背面淀积金属的工艺
上传者:
jfkj2021
|
上传时间: 2021-06-25 18:03:53
|
文件大小: 4.32MB
|
文件类型: DOCX
背金工艺简介
背金工艺是一种在wafer背面淀积金属的工艺。目前背金蒸发使用的金属材料为钛(TI)、镍(NI)、银(AG)三种,蒸镀的顺序分别是钛层(1KA)、镍层(2KA)、银层(10KA)。 TI和Sl能很好的结合,但是电阻较高,Ti层厚度最薄。Ni作为中间黏合层,不能太薄,最外一层镀AG层保护Ni层。
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