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ansys 硅微加速度计的设计与仿真
ansys 硅微加速度计的设计与仿真
上传者:
fsadagds
|
上传时间: 2023-01-15 14:20:37
|
文件大小: 2.12MB
|
文件类型: DOC
ansys
硅微加速度计结构示意图,总体尺寸在1400微米以内,质量块尺寸为200μmμm,质量块的厚度为80μm,梁的尺寸(300)μm*40μm,梁的厚度为30μm。 材 料:自选(可类比课件例题或前实验题) 弹性模量:1.69e11; 泊松比:0.3; 密 度:2.3e3。 网络化类型:自选
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