ansys 硅微加速度计的设计与仿真
硅微加速度计结构示意图，总体尺寸在1400微米以内，质量块尺寸为200μmμm，质量块的厚度为80μm，梁的尺寸（300）μm*40μm，梁的厚度为30μm。
材 料：自选（可类比课件例题或前实验题）
弹性模量：1.69e11;
泊松比：0.3；
密 度：2.3e3。
网络化类型：自选
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