Spruce600KLARF文件格式说明.docx

Spruce600KLARF文件格式说明 Spruce600KLARF文件格式是用于存储半导体检测结果的文件格式。该文件格式主要用于存储wafer检测结果，包括检测的各种参数和结果。 FileSize和FileVersion：文件的大小和版本号，是文件的基本信息。 FileTimestamp：文件的时间戳，记录文件的创建时间。 InspectionStationID：检测站的唯一标识符，用于标识检测站的身份。 SampleType：检测样本的类型，例如wafer、die等。 ResultTimestamp：检测结果的时间戳，记录检测结果的生成时间。 LotID：批次的唯一标识符，用于标识批次的身份。 SampleSize：检测样本的大小，包括样本的宽度和高度。 SetupID：检测设置的唯一标识符，用于标识检测设置的身份。 StepID：检测步骤的唯一标识符，用于标识检测步骤的身份。 DeviceID：检测设备的唯一标识符，用于标识检测设备的身份。 SampleOrientationMarkType：检测样本的方向标记类型，例如NOTCH、CIRCLE等。 OrientationMarkLocation：方向标记的位置，例如UP、DOWN等。 DiePitch：die的pitch值，即die之间的距离。 DieOrigin：die的原点坐标，用于标识die的位置。 WaferID：wafer的唯一标识符，用于标识wafer的身份。 Slot：wafer的slot号，用于标识wafer的位置。 IsOverload：检测结果是否超载的标志位。 SNR：信噪比，用于评估检测结果的质量。 SampleCenterLocation：检测样本的中心坐标，用于标识检测样本的位置。 ClassLookup：检测结果的分类查找表，用于对检测结果进行分类。 在ClassLookup表中，每个数字对应一个特定的缺陷类型，例如small particle、large particle、Filaments等。这些缺陷类型是检测结果的分类依据。 Spruce600KLARF文件格式是一个用于存储半导体检测结果的文件格式，包括检测结果、检测参数、检测设备等各种信息。该文件格式广泛应用于半导体行业，用于存储和分析检测结果。