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半导体SECS GEM的PLC解决方案书
半导体SECS GEM的PLC解决方案书
上传者:
SECS_GEM
|
上传时间: 2021-01-28 01:09:49
|
文件大小: 438KB
|
文件类型: PDF
secs
gem
SECS/GEM是由国际半导体设备与材料协会(SEMI)制定的连接性标准。此连接性标准用于在设备和工厂的资讯和控制系统间建立通讯。SECS是SEMI设备通讯标准的缩写。
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