COMSOL等离子体仿真技术在MPCVD装置及H2放电低气压环境的应用研究
内容概要：本文详细介绍了利用COMSOL进行微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置仿真的方法和技术要点。主要内容涵盖电磁场、流体力学和化学反应的耦合建模，特别是针对H2气体在低气压条件下的放电过程进行了深入探讨。文中提供了具体的MATLAB代码片段用于设置微波端口参数，以及Java代码段用于定义碰撞反应。同时讨论了等离子体参数随时间变化的特点，并提出了采用准静态近似的解决方案。此外，还涉及了刻蚀仿真中表面反应的动力学模型构建，强调了刻蚀速率与离子能量分布之间的关系。最后给出了仿真过程中可能出现的问题及其解决办法。
适合人群：从事等离子体物理、半导体制造工艺、材料科学等领域研究的专业人士，尤其是对MPCVD技术和COMSOL仿真软件有一定了解的研究人员。
使用场景及目标：适用于希望深入了解MPCVD装置内部物理机制并掌握其仿真方法的研究人员；目标是在低气压条件下优化金刚石薄膜沉积和刻蚀工艺。
其他说明：文中提到的技术细节如准静态近似、碰撞截面数据获取、表面反应建模等均为提高仿真精度的关键因素。对于复杂情况下的仿真，可能需要结合多种数值方法以确保结果准确性。
文件下载
资源详情
[{"title":"（ 4 个子文件 253KB ） COMSOL等离子体仿真技术在MPCVD装置及H2放电低气压环境的应用研究","children":[{"title":"COMSOL等离子体仿真：MPCVD装置仿真与H2放电低气压MPCVD放电的等离子体沉积刻蚀仿真.html <span style='color:#111;'> 233.17KB </span>","children":null,"spread":false},{"title":"COMSOL等离子体仿真技术在MPCVD装置及H2放电低气压环境的应用研究.pdf <span style='color:#111;'> 118.56KB </span>","children":null,"spread":false},{"title":"等离子体仿真技术在MPCVD装置与H2放电环境下的应用及沉积刻蚀研究.docx <span style='color:#111;'> 37.34KB </span>","children":null,"spread":false},{"title":"COMSOL等离子体仿真与MPCVD装置仿真：H2放电低气压MPCVD放电及等离子体沉积刻蚀仿真.docx <span style='color:#111;'> 37.58KB </span>","children":null,"spread":false}],"spread":true}]
评论信息
其他资源
- Qt5 UDP Socket通信源码
- 索尼IMX290LQR-C规格书datasheet及设计指南
- RISCV手册中文版
- DAC0832产生三种波形（DDS信号产生）(测试成功)
- 国外著名的弹道仿真软件
- 全新顶级Python爬虫框架与核心项目实战教学 实战派Python爬虫全项目视频课程
- JavaSE25套习题（含答案）
- 发动机数据监测软件（模拟数据）.zip
- 蜂群SVM（ABC-SVM）遗传算法SVM（GA-SVM）粒子群SVM（PSO-SVM）公共数据集，UCMerced图像数据集 词袋模型
- Android+sqlite
- 动漫网站的设计与实现毕业论文
- word文档查重
- python opencv 自动去除视频水印
- 五级地址库.xlsx
- SOA反模式
- 红绿灯实战改良.uvproj
- javascript 实现瀑布流.zip
- 山东大学2017模式识别考题
- 垃圾收集(中英文).pdf
- Head First Data Analysis.pdf
- Windows内核和驱动进程保护
- SSH框架demo
- apache tomcat 7.0
免责申明
【只为小站】的资源来自网友分享，仅供学习研究，请务必在下载后24小时内给予删除，不得用于其他任何用途，否则后果自负。基于互联网的特殊性，【只为小站】 无法对用户传输的作品、信息、内容的权属或合法性、合规性、真实性、科学性、完整权、有效性等进行实质审查；无论 【只为小站】 经营者是否已进行审查，用户均应自行承担因其传输的作品、信息、内容而可能或已经产生的侵权或权属纠纷等法律责任。
本站所有资源不代表本站的观点或立场，基于网友分享，根据中国法律《信息网络传播权保护条例》第二十二条之规定，若资源存在侵权或相关问题请联系本站客服人员，zhiweidada#qq.com，请把#换成@，本站将给予最大的支持与配合，做到及时反馈和处理。关于更多版权及免责申明参见 版权及免责申明
本站所有资源不代表本站的观点或立场，基于网友分享，根据中国法律《信息网络传播权保护条例》第二十二条之规定，若资源存在侵权或相关问题请联系本站客服人员，zhiweidada#qq.com，请把#换成@，本站将给予最大的支持与配合，做到及时反馈和处理。关于更多版权及免责申明参见 版权及免责申明