4.4 三维仿真 170 只有将网格定义得精细才能得到较可信的效果。网格定义是一方面，读者也可以尝试将例子 中的工艺步骤增多会有怎样的影响，例如分成多次氧化，保持总的氧化时间为 30 分钟不变。 对例 4-6 将氧化分成 30 次，每次 1 分钟（即 30×1min）时提取得到氧化层为 405.658 Å，而 3×10min 时为 407.2 Å，1×30min 时是 407.279 Å。如果 y=0 处的网格间距定义为 0.01 微米， 则这三种氧化方式得到氧化层厚度将分别是 414.722、430.49 和 447.672 Å，差异将增大。这 也可以说明每一步都是和设定的方程有误差的（很可能是由于网格的精细程度不同而造成 的），如果步骤太细，太多，则误差积累、放大得也会很厉害，作者建议在看连续步骤的效 果时，可以每一个节点的数据都从最开始进行计算。 其他工艺模型参数读者可以在 X:\sedatools\lib\Athena\.R\common 的 athenamod 文件中寻找，然后结合手册的说明去校准模型参数。另外在 implant-tables 文件夹 里含有离子注入下的模型参数，在 models 文件夹里含有一些硼、磷和砷的扩散、分凝和固 容度的模型参数。 Silvaco 的器件仿真是基于一系列物理模型的，对应相应的模型方程。方程的某些参数 可以在 material 状态里设置，结合模型选择、计算方法选择和 C 解释器自定义表达式可以灵 活地仿真，所以对于器件仿真部分没有提到专门的参数校准。 4.4 三维仿真 ATLAS 可以仿真三维器件，三维器件的结构（三维结构需要用 Tonyplot3D 进行显示。） 可以是由 DevEdit3D 编辑也可以用 ATLAS 描述，但这两种方式描述沿 Z 轴方向的变化都不 是很方便，而采用 Victory（三维仿真器）则是严格意义上的三维仿真。 Victory 有 VictoryCell（元件级的三维工艺仿真器）、VictoryProcess（混杂的三维工艺仿 真器）、VictoryStress（三维应力仿真器）和 VictoryDevice（三维器件仿真器）。本书只介绍 VictoryCell，VictoryStress、VictoryProcess 和 VictoryDevice 部分读者可查阅相关手册。 4.4.1 ATLAS3D 三维器件仿真可以用 Victory，也可由 ATLAS 完成。 ATLAS 中三维器件仿真的主要模块有：  DEVICE3D：硅化合物材料和异质结仿真；  GIGA3D：不等温仿真；  MIXEDMODE3D：器件--电路混合仿真；  TFT3D：TFT 仿真；  QUANTUM3D：量子效应仿真；  LUMINOUS3D：光探测器仿真。 仿真之前需定义结构。有 3 种方法可以得到三维结构。

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