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程天风（ASML 阿斯麦光刻设备有限公司）摘要：针对次100nm的生产,ASML 研发了一个新光刻系统,其中克服了许多底k1解晰度的挑战。其中包含0.85NA双载具193nm TWINSCAN的设计、性能与一些初步的量测数据。80nm的生产必须要有多方面的量测与控制来达到高准确度的线宽（CD)与对准（Overlay)的要求水平。本机台拥有高成熟度的双载具平台，稳定的系统动态质（MSD)，一惯性的光量递输等功能，幷包含了一个内建侦测回送系统来自动调控投影镜的像差(aberrations)，来达到最佳的影像保真度。关键词：光刻系统；投影；影像；对准中图分类号：TN305 文献标识码：B 文章编号：

二十多年的制造业成本核算经验，为制造业摸具成本核算系统专门编写的设计说明

Robust multi-objective test problems The most challenging robust multi-objective test problems in the world 一组 22 个具有挑战性的多目标测试问题，用于对稳健的多目标优化算法的性能进行基准测试。提交的内容包括测试函数以及用于绘制测试函数的参数空间和目标空间的文件。 这是论文的源代码： S. Mirjalili, A. Lewis, Novel Frameworks for Creating Robust Multi-objective Benchmark Problems, Information Sciences, Vol. 300，第 158-192 页，2015 年，DOI：http ://dx.doi.org/10.1016/j.ins.2014.12.037

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描述 交错连续导通模式 (CCM) 图腾柱 (TTPL) 无桥功率因数校正 (PFC) 采用高带隙 GaN 器件，由于具有电源效率高和尺寸减小的特点，因此是极具吸引力的电源拓扑。此设计说明了使用 C2000:trade_mark: MCU 和 LMG3410 GaN FET 模块来控制此功率级的方法。为了提高效率，此设计采用了自适应死区时间和切相方法。非线性电压补偿器旨在减少瞬态期间的过冲和下冲。此设计选择基于软件锁相环 (SPLL) 的方案来精确地驱动图腾柱电桥。用于此设计的硬件和软件可帮助您缩短产品上市时间。 特性 在高压线路上具有交流输入 (90-230Vrms)、50-60Hz 和 3.3KW 额定功率 峰值效率为 98.75% 且总谐波失真 (THD) 小于 2% 提供 powerSUITE 支持，以使设计轻松适应用户要求 内置频率响应分析器 (SFRA) 以便验证并设计控制环路 低过零失真 说明了自适应死区时间、切相和非线性电压补偿器的实现方式 功率级控制可以在 C28x CPU 或并行 CLA 上运行