为 了 给 半 导 体 器 件 、 印 刷 电 路 板 和 功 率 器 件 等 电 子 器 件 提 供 细 微 热 分 析 的 手 段 ， 完 成 电 子 电 路 的 故 障 检 测 、 失 效 分 析 和 可 靠 性 检 测 等 ， 本 文 基 于 非 制 冷 焦 平 面 探 测 器 设 计 了 一 种 新 型 的 光 学 微 扫 描 显 微 热 像 仪 。 介 绍 了 系 统 的 工 作 原 理 、 系 统 构 成 、 工 作 过 程 ， 研 究 推 导 了 系 统 噪 声 等 效 温 差 （ ＮＥＴＤ） 和 噪 声 等 效 辐 射 率 差 （ ＮＥＥＤ） 模 型 ， 为 系 统 的 设 计 提 供 了 理 论 指 导 ， 基 于 Ｍａｔｌａｂ 完 成 了 整 个 系 统 的 图 像 采 集 处 理 界 面 设 计 。 实 际 图 像 采 集 和 处 理 结 果 表 明 了 本 系 统 设 计 的 合 理 性 。 随 着 产 品 化 ， 本 系 统 将 会 用 到 其 他 需 要 显 微 热 分 析 的 场 合 ， 具 有 广 泛 的 应 用 前 景 。

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