针对单负载，垂直变形引起的传统MEMS（微机电系统）谐振器窄带和谐振频率固定的问题，提出了一种新型的具有超宽带，可调谐频率和基于垂直方向两级调节特性的MEMS谐振器。和水平负载。 建立了水平和垂直负载双级调节谐振器的微分方程，推导了两端锚定的谐振器的频率方程。 提出的谐振器的中心频率为17.7 MHz，两级范围分别为395480 ppm和16 ppm。
2021-03-02 17:05:04
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本文使用光学变换矩阵方法,分析了多元件谐振腔的等价腔问题。发展了等价腔的一些概念和方法,推出了在普遍情况下,等价腔各参量与原谐振腔各参量之间的解析关系,并得到了一组不变量；同时,还澄清了一些关于等价腔的错误看法和易混淆之处.
2021-02-26 19:02:54
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