以Ta2O5为初始膜料, 采用电子束蒸发制备了Ta2O5薄膜, 以空气和氩气分别作退火保护气氛, 以X射线粉末衍射仪(XRD)为测试手段研究了退火后薄膜的结构, 用分光光度计测试了薄膜在可见光及近红外波段的透射率, 利用透射率极小值计算了几个典型波段的折射率。研究了保温时间、保温温度、保护气氛对Ta2O5薄膜透射率和折射率的影响。试验结果表明, 对Ta2O5薄膜进行300～600 ℃下保温2 h的退火处理, 对透射率影响不大; 500 ℃下保温4 h退火处理获得的薄膜折射率最大; 对Ta2O5薄膜进行氩气保护中400 ℃下保温2 h,4 h的退火处理, 近紫外波段内的透射率峰值降低, 可见光波段的透射率峰值升高, 折射率提高。与空气中处理的试样相比较, 氩气保护中试样的透射光谱发生红移, 折射率明显提高; Ta2O5薄膜在≤600 ℃下退火后仍为非晶态。

本文论述气相混合蒸镀的实验方法,介绍了三种控制程序,给出了两种宽带增透膜的实验镀制结果.实验表明,气相混合蒸镀技术具有极大的应用潜力.

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TFCalc材料库 TFCalc是一款光学薄膜设计软件。此材料库中有常见的各种软件，满足各种膜系设计需要。一般的TFC中MAT格式的材料文件没法使用，只有默认的6个。所以是TFC初学者必备的附件。 使用方法： 首先需要把 2006421155018.rar 解压缩（以后就不需要了）。 1. 点击TFC主窗口（最小的那个）菜单栏上的 Modify（修改） -> Materials（材料） 2.在跳出的材料对话框菜单栏上点击Options（设置）-> Add Material（增加材料） 3.在跳出的窗口中 Material to add: 后输入材料名（如ZNSE）并点击OK（确定） 4.在新窗口中点击 Options -> Read Material from file（从文件中读取文件）然后在新窗口中直接点击 Get File （获取文件）。 5.然后寻找解压后的文件，打开即可。 6.这样就能在材料栏中找到新的材料，就可以使用了。