1 失效分析能力要求 5 1.1 失效分析设备要求 5 1.2 失效分析实验室环境要求 7 2 失效分析流程 7 2.1 流程图 7 2.2 确定失效问题 8 2.3 失效样品背景信息调查 9 2.4 故障复现和故障位置的定位 9 2.5 无损分析 9 2.5.1 外观分析 9 2.5.2 X-ray 9 2.5.3 C-SAM 10 2.5.4 3D测量仪 10 2.6 对可能的失效原因假设 10 2.7 分析和验证 10 2.8 给出失效原因和失效机理 10 2.9 重现试验 10 2.10 改进措施 11 2.11 后续跟踪 11 3 常见的失效方法 11 3.1 外观分析 11 3.2 机械结构尺寸测量 12 3.3 电测 13 3.4 染色起拔 13 3.5 切片分析 13 4 失效分析实验室日常管理 14 4.1 实验室人员职责 14 4.2 全员设备维护(TPM) 14 4.3 测量系统分析(MSA) 15 4.4 文件管理 15 5 参考文件 15
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