微透镜阵列是夏克哈特曼波前传感器的核心部件。根据液晶空间光调制器(LC-SLM) 的相位调制原理,控制LC-SLM生成焦距、子孔径尺寸和排布方式可调的微透镜阵列,应用于哈特曼波前传感器,对入射光波进行分割,测量子孔径内波面的平均斜率,复原出入射波面的相位分布,以此为校正信号,对畸变波面进行单步校正,校正前后光波的斯特列尔比值从0.12变为0.59。 针对LC-SLM产生的微透镜阵列,讨论了透镜焦距、相邻间距、阵列数目及微透镜性能各影响因素。理论和实验结果表明,基于LC-SLM的动态哈特曼传感器具有子孔径大小、数目和排布方式根据外界条件变化控制灵活,可动态变化的优点。
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