本机械手的机械结构主要包括由两个电磁阀控制的液压钢来实现机械手的上升下降运动及夹紧工件的动作，两个转速不同的电动机分别通过两线圈控制电动机的正反转，从而实现小车的快进、慢进、快退、慢退的运动运动；其动作转换靠设置在各个不同部位的行程开关(SQ1---SQ9)产生的通断信号传输到PLC控制器，通过PLC内部程序输出不同的信号，从而驱动外部线圈来控制电动机或电磁阀产生不同的动作，可实现机械手的精确定位；其动作过程包括：下降、夹紧、上升、慢进、快进、慢进、延时、下降、放松、上升、慢退、快退、慢退；其操作方式包括：回原位、手动、单步、单周期、连续；来满足生产中的各种操作要求。

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本研究主要探讨并分析自勤化物料搬运系统在目前半导体晶圆制造厂之应用情形， 尤其对无尘室布局设计之考量、整个 AMHS 之架构分析、 Interbay 设计之考量舆选用以及 intrabay 目前在国内半导体晶圆制造厂之应用情形及须加强改善之处。目前 300mm 晶圆制造厂面临制程技术及机台之更新、 Mini-Environment 之应用、工厂自动化舆物料搬运系统 OHT 、 AGV 、 PGV 、 RGV 之应用及新一代制程能力之需求等问题， 迄些将是十二寸晶圆厂需待客服之重要课题。