SEMI E37-0298 HIGH-SPEED SECS MESSAGE SERVICES (HSMS) GENERIC.pdf
2021-01-28 03:22:53
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SEMI E5-0301 SEMI EQUIPMENT COMMUNICATIONS STANDARD 2 MESSAGE CONTENT.docx
2021-01-28 03:22:33
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SEMI E30-1000 GENERIC MODEL FOR COMMUNICATIONS AND CONTROL.docx
2021-01-28 03:22:33
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SEMI E37-0298 HIGH-SPEED SECS MESSAGE SERVICES (HSMS) GENERIC.docx
2021-01-28 03:22:33
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SECS/GEM是由国际半导体设备与材料协会(SEMI)制定的连接性标准。此连接性标准用于在设备和工厂的资讯和控制系统间建立通讯。SECS是SEMI设备通讯标准的缩写。
2021-01-28 01:09:49
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ITRI CIM Emulator能够读取SML档案，主要功能是用来测试半导体设备的通讯功能，它支持SECS-I/SECS-II/HSMS-SS通讯协议，支持SML格式，具有强大易用的自动化测试功能，免安装即拷即用。
使用前需要先将RS232连接线接好运行软件，选择检视。在设定SECS-I对话窗口中输入相关的通讯参数。
2020-12-07 10:23:09
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由于国内半导体设备自动化(EAP)发展较晚，和设备通信的SECS协议文档很难找全，很少有详细介绍每个SxFx的功能定义，资源相对缺乏，特贡献半导体详细文档给大家参考。后续会上传一些SECS协议代码及模拟器给大家。如有需要会上传一些协议的讲解供大家学习。
2020-02-16 03:10:31
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E4 SEMI Equipment Communications Standard 1 Message Transfer (SECS-I)
E5 SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II)
E37 High-Speed SECS Message Services (HSMS)
2019-12-21 21:27:29
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