课程内容： 1 外延层质量参数 1.1 外延层电阻率ρepi 1.2 外延层的杂质浓度分布 1.3 外延层厚度 1.4 少数载流子寿命 1.5 外延层中的缺陷 1.5.1 表面缺陷 1.5.2 体内缺陷 2 外延层质量参数的检验 2.1 ρepi的检验 2.1.1 三探针法测ρepi-对（外延层/衬底）导电类型相同者 2.1.2 四探针法测ρepi-对（外延层/衬底）导
2022-04-29 21:05:20
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课程内容： 1 外延层层错 1.1 外延层层错的形成模式 1.2 外延层层错的结构 1.3 外延层层错的腐蚀形貌 1.3.1 外延层层错是面缺陷 1.3.2 腐蚀时在缺陷处体现优先腐蚀 1.4 几点说明 1.4.1 层错的腐蚀形貌并非一定是完整图形 1.4.2 层错的腐蚀形貌图形可能大小不一 1.4.3 不同器件制造对层错密度的要求 2 外延层层错产生的原因及对器件性能的影响 2.1 外延层层错产生原因 2.1.1 衬底的表面质量 2.1.2 外延用的气体纯度 2.1.3 外延工艺条件控制 2.1.4 外延系统的清洁度 2.2
2022-03-10 12:06:01
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行业分类-设备装置-外延生长的具有垂直相界的铌酸钾钠-锆酸钡-钛酸铋钠无铅压电薄膜的制备方法.zip
2021-09-10 09:04:46
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行业资料-电子功用-Ⅱ类超晶格窄光谱红外光电探测器材料的外延生长方法
2021-09-10 09:02:20
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