本程序为Matlab代码,支持在Matlab中读取Zygo干涉仪(MetroPro或Mx)生成的dat测量文件。 本程序共调取.dat文件中所包含的137个参数,包括:干涉图(IntensityData)、相位/面形数据(PhaseData)、干涉图像素标定(pixel_height和pixel_width)、测试波长(wavelength_in)等等。 详细说明请见我的CSDN文章:https://blog.csdn.net/Loveoptics/article/details/123453503 注意:如需DecodeZygodat.p暗码文件里的代码,请移步至某宝,额外付费购买旗舰版:https://item.taobao.com/item.htm?id=674411183431
2022-05-10 14:39:16 1.83MB Zygo MetroPro 光学检测 光学加工
Zygo 101步移相干涉测量算法 Peter de Groot (101-frame algorithm for phase shifting interferometry) 相移干涉测量法(PSI)是在干涉条纹之间进行插值的更常见的技术之一。一个表面剖析的PSI仪器存储了一系列参考相位的CCD图像帧 一系列参考相位的CCD图像帧;然后应用数学算法来恢复相位信息。1 因为波前相位本身是表面轮廓的线性函数。由于波前相位本身是表面轮廓的线性函数,PSI提供了一个高分辨率的表面图测量。 在早期,计算上的限制将图像帧的数量限制在3或4个,这并没有留下多少变化的空间。随着对精度要求的提高,移相算法的长度和种类也随之增加。目前的技术水平已经发展到5、7甚至15帧的品种。2,3,4 本文探讨了这些趋势的局限性,同时回顾了我们Zygo公司用于分析PSI性能的一些数学技术。最后,为了尝试对未来进行远期预测,我提出了一个101帧的算法,该算法对错误源有很强的抵抗力。这个有点极端的例子强调了对算法长度的实际限制,只要我们放宽PSI的定义,这些限制实际上比人们想象的更宽松。
2022-04-25 09:05:35 110KB 干涉测量 干涉仪 移相算法 波前测量
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ZYGO干涉仪使用说明.doc
2021-11-13 11:20:19 158KB
Zygo白光干涉仪得到的xyz文件读取到matlab中,方便后续数据处理
2021-11-01 10:33:53 7.46MB matlab zygo xyz点云
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ZYGO干涉仪说明手册,MetroPro Reference Guide,仪器操作软件指南
2019-12-21 20:20:00 4.95MB ZYGO 干涉仪 说明手册
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zygo干涉仪分析软件metropro手册,介绍其功能及用法等,对光学检测人士非常有用
2019-12-21 19:55:51 4.95MB zygo gpi metropro
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