Nd-3-H掺杂磷酸盐玻璃中的光学平面波导是通过以6.0 x 1014离子/ cm2的剂量注入6.0-MeV碳离子和以6.0x 1014离子/ cm的注入量注入6.0-MeV氧离子制造的（ 2）。 引导模和相应的有效折射率是通过模态2010棱镜耦合器测量的。 基于物质中离子的终止和范围以及RCM反射率计算方法，分析了波导的折射率分布。 分别通过端面耦合法和有限差分光束传播法测量并模拟了近场光强度分布。 进行了碳注入波导和氧注入波导的光学特性的比较。 微发光和拉曼光谱研究表明，Nd 3-离子的荧光性质和玻璃微结构在波导区域中得到了很好的保留，这表明碳/氧注入波导是集成光子器件的良好候选者。 （C）2015年光电仪器工程师协会（SPIE）

我们首次向我们报告关于通过6.0 MeV碳注入和6.0 x 10（14）离子/ cm（2）剂量的Er3 + / Vb（3+）共掺杂硅酸盐玻璃制造平面波导的报道）。 导光性能通过He-Ne光束的棱镜耦合和端面耦合方法进行测量。 平面波导的折射率分布是通过反射率计算方法重建的，该方法显示了典型的“增强阱+光学势垒”分布。 微发光和拉曼研究表明，通过将碳注入波导中，整体特征不会显着劣化，从而展示了集成有源光子器件的可能应用。 由Elsevier BV发布