内容概要:本文详细介绍了利用COMSOL进行MPCVD(微波等离子体化学气相沉积)装置中H2低气压放电及等离子体沉积刻蚀的仿真方法。主要内容涵盖基础配置、电磁场与等离子体模块的耦合、网格划分、求解器设置以及后处理等方面的技术要点。文中还提供了多个MATLAB代码片段,帮助读者理解和应用具体的仿真步骤。同时,文章强调了在不同气压条件下,如何调整参数以确保仿真结果的准确性,并分享了一些实用技巧和避坑指南。 适用人群:从事等离子体物理研究、MPCVD装置设计与优化的研究人员和技术人员,尤其适用于有一定COMSOL使用经验和MATLAB编程基础的用户。 使用场景及目标:①掌握MPCVD装置中H2低气压放电及等离子体沉积刻蚀的仿真流程;②提高仿真效率,减少计算时间和错误;③通过仿真优化实际工艺参数,如气压、微波功率、电场强度等,从而改善沉积和刻蚀效果。 其他说明:文章不仅提供了详细的理论解释和技术指导,还结合实际案例进行了深入剖析,使读者能够更好地将理论应用于实践。此外,文中提到的一些特殊现象(如等离子体收缩、鞘层振荡等)及其应对措施,对于解决实际问题具有重要参考价值。
2025-08-17 17:12:58 402KB
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内容概要:本文详细介绍了利用COMSOL进行微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置仿真的方法和技术要点。主要内容涵盖电磁场、流体力学和化学反应的耦合建模,特别是针对H2气体在低气压条件下的放电过程进行了深入探讨。文中提供了具体的MATLAB代码片段用于设置微波端口参数,以及Java代码段用于定义碰撞反应。同时讨论了等离子体参数随时间变化的特点,并提出了采用准静态近似的解决方案。此外,还涉及了刻蚀仿真中表面反应的动力学模型构建,强调了刻蚀速率与离子能量分布之间的关系。最后给出了仿真过程中可能出现的问题及其解决办法。 适合人群:从事等离子体物理、半导体制造工艺、材料科学等领域研究的专业人士,尤其是对MPCVD技术和COMSOL仿真软件有一定了解的研究人员。 使用场景及目标:适用于希望深入了解MPCVD装置内部物理机制并掌握其仿真方法的研究人员;目标是在低气压条件下优化金刚石薄膜沉积和刻蚀工艺。 其他说明:文中提到的技术细节如准静态近似、碰撞截面数据获取、表面反应建模等均为提高仿真精度的关键因素。对于复杂情况下的仿真,可能需要结合多种数值方法以确保结果准确性。
2025-05-14 14:38:02 253KB
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组胺通过激活突触后H2受体兴奋大鼠前庭外侧核神经元,张骏,韩小虎,在本研究中,我们利用离体脑片全细胞膜片钳技术探讨了组胺对大鼠前庭外侧核(lateral vestibular nucleus, LVN)神经元活动的影响。结果表�
2025-01-14 08:16:30 652KB 首发论文
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Linux orangepizero 5.4.65-sunxi #2.2.2 SMP Tue Aug 15 17:45:28 CST 2023 armv7l armv7l armv7l GNU/Linux 内核头文件 安装:sudo dpkg -i linux-headers-current-sunxi_2.2.2_armhf.deb
2024-11-04 18:10:09 10.57MB linux
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主要介绍了SpringBoot MockMvc H2自动化单元测试的开发过程总结,附带成功截图,分享给大家做个参考
2024-04-15 14:16:36 100KB SpringBoot MockMvc 单元测试
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碘硫循环制氢实验台架上碘化氢分解催化剂的研究,王来军,王志超,由本森反应、硫酸分解、碘化氢分解反应组成的碘硫(IS)循环制氢被认为是有望成为清洁、经济、可持续的大规模制氢方法。美、日、法�
2024-02-24 08:21:28 333KB 首发论文
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应用线性矩阵不等式(LMI)方法研究T-S模糊系统的H2/H∞混合控制器的设计问题.首先针对T-S模糊系统分别设计H2和H∞ 控制器;然后以线性矩阵不等式的形式给出T-S模糊系统H2/H∞混合控制器存在的充分条件及相应的控制器设计方法.在给定的H∞ 干扰约束下,通过优化H∞控制性能指标实现了模糊状态反馈次优控制.最后通过例子验证了所给出的H2/H∞混合控制器设计方法的可行性和有效性.
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应用线性矩阵不等式(LMI)方法研究T-S模糊系统的H2/H∞混合控制器的设计问题.首先针对T-S模糊系统分别设计H2和H∞控制器;然后以线性矩阵不等式的形式给出T-S模糊系统Hz/H∞混合控制器存在的充分条件及相应的控制器设计方法.在给定的H∞干扰约束下,通过优化H2控制性能指标实现了模糊状态反馈次优控制.最后通过例子验证了所给出的H2/H∞混合控制器设计方法的可行性和有效性.
2023-04-03 20:40:35 1.77MB 自然科学 论文
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目的是能使用Python进行rtmp推流,方便在h264帧里加入弹幕等操作。 librtmp使用的是0.3.0,使用树莓派noir官方摄像头适配的。 通过wireshark抓ffmpeg的包一点点改动,最终可以在red5和斗鱼上推流了。 没怎么写过python,有不恰当的地方请包涵。 上代码: # -- coding: utf-8 -- # http://blog.csdn.net/luhanglei import picamera import time import traceback import ctypes from librtmp import * global meta_pa
2022-12-16 07:37:25 65KB br h2 li
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基恩士LK navigator2的工具软件,先打开setup安装1.02版,再运行update升级到1.04
2022-11-21 20:03:24 105.01MB LK_H2 LKnavigator2
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